抛晶砖真空镀膜机 正达真空机械

型号规格

cda-450，500，600，700，800，900，1000，1100，1200，1400，1500，1600，1800，2000，2200

真空室直径

ф450mm，ф500mm，ф600mm，ф700mm，ф800mm，ф900mmф1000mm，ф1100mm，ф1200mm，ф1400mm，ф1500mm，ф1600mm，ф1800mm，ф2000mm，ф2200mm

真空室高度

500mm————2800mm

真空泵组

扩散泵，罗茨泵，旋片泵

真空测量

多路测量复合真空计范围105---10-5pa

控制方式

触摸手动或全自动

配气系统

高灵敏度mfc，多路独立控制，气管室体内部特殊

设计布置

加热系统

pid智能控温，温度均匀

工件系统

6轴—16轴变频无级调速行星式公自转

极限真空

1×10-3pa

冷却系统

压力流量同步测量控制

功率消耗

20kw———160kw

cda-d系列玻璃水晶灯饰离子镀膜机型号及技术参数

性能型号

cda-d700

cda-d900

cda-d1000

cda-d1250

cda-d1500

镀膜室尺寸

ф700×h900mm

ф900×h1100mm

ф1000×h1200mm

ф1250×h1350mm

ф1500×h1350mm

电源类型

电弧电源、灯丝电源、脉冲偏压电源、直流磁控电源、中频磁控电源、射频磁控电源、线性离化源

真空室结构

立式前开门结构、后置抽气系统、双层水冷腔室

真空室材质

优质不锈钢材质腔体

极限真空

6.0×10-4pa

抽气时间
(空载）

从大气抽至8.0×10-3pa≤15分钟

真空获得系统

扩散泵或分子泵+罗茨泵+机械泵+维持泵（具体型号可根据客户的要求进行配置）

镀膜方式

电弧镀膜+磁控溅射镀膜

制膜颜色

透光膜：烟灰色、香槟色、干邑色、酒红色、幻彩色、琥珀色等不透光膜：金色、古铜色、银白色、咖啡色、枪灰色等

磁控靶类型

矩形磁控靶、圆柱形磁控靶、孪生磁控对靶

磁控电源功率及磁控靶数量

根据不同镀膜工艺和客户的需求进行选配

电弧源

4台或6台

6台或8台

8台或10台

10台或12台

10台或12台

偏压电源

10kw/1台

20kw/1台

20kw/1台

30kw/1台

40kw/1台

工件转架
转动方式

行星式公自转、变频调速（可控可调）

工件烘烤温度

室温至450℃可控可调（pid温控）

工艺气体

3路或4路工艺气体流量控制及显示系统选配自动加气系统

冷却方式

水循环冷却方式，另需配冷却水塔或工业冷水机或深冷系统。（客户提供）

控制方式

手动/自动一体化方式、触摸屏操作、plc或计算机控制

整机总功率

40kw

45kw

50kw

60kw

75kw

报警及保护

对泵和靶等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警，并执行相应保护措施及电气联锁功能。

设备占地面积

w2m×l3m

w2.5m×l3.5m

w3m×l4m

w4m×l5m

w4.5m×l6m

其他技术参数

水压≥0.05.mpa、水温≤25℃、气压0.5-0.8mpa

备注

镀膜设备的具体配置可根据客户的镀膜产品工艺要求进行设计。